Revolutionäres IMMS-System gewinnt Silber für Subnanometer-Präzision in Zukunftsbranchen
Anna Fuchs
Revolutionäres IMMS-System gewinnt Silber für Subnanometer-Präzision in Zukunftsbranchen
Bahnbrechendes Positionierungssystem des IMMS mit Silbermedaille bei den Thüringer Zukunftspreisen ausgezeichnet
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Ein revolutionäres Positionierungssystem, das am Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) entwickelt wurde, hat bei den Thüringer Zukunftspreisen eine Silbermedaille gewonnen. Die Erfindung, die auf der Internationale Fachmesse für Ideen, Erfindungen und Neuheiten (iENA) prämiert wurde, verspricht, Branchen mit extrem hohen Präzisionsanforderungen grundlegend zu verändern. Dank fortschrittlicher Technologie ermöglicht das System eine Genauigkeit im Subnanometerbereich und setzt damit neue Maßstäbe in der Feinwerktechnik.
Das ausgezeichnete System mit dem Titel „Positionierungssystem mit Regler und Verfahren zu dessen Konfiguration“ wurde von PATON im Namen des Erfinders Alex Huaman eingereicht. Sein Kernstück bildet ein innovatives Regelungskonzept, das einen dynamischen Beobachter nutzt, um Störkräfte in Echtzeit zu erfassen. Dadurch kann das System proaktiv gegensteuern, Querkopplungen zwischen den Achsen reduzieren – und das ohne hochpräzise Messungen zu benötigen.
Besonders überzeugt die Technologie in hochdynamischen Mehrkoordinaten-Anwendungen mit Direktantrieben. Ein herausragendes Beispiel ist das 6D-Nanometer-Planarpositionierungssystem des IMMS, das ultrapräzise Bewegungen über große Verfahrwege ermöglicht. Eine solche Präzision wird immer entscheidender, da moderne Industrien Maschinen benötigen, die Strukturen im Nanometerbereich manipulieren können.
Nanometergenauigkeit spielt in zahlreichen Zukunftsbranchen eine Schlüsselrolle: In der Nanofertigung ermöglicht sie die Herstellung von Transistoren auf Atomniveau und treibt so die Miniaturisierung von Halbleitern bis hin zu 3-Nanometer-Strukturen voran – für noch leistungsfähigere und energieeffizientere Chips. Die Medizintechnik profitiert von hochpräzisen Nanostrukturen, die in Diagnostikgeräten, Operationsrobotern und der biopharmazeutischen Produktion eingesetzt werden. Auch die Hochpräzisionsoptik, etwa in der EUV-Lithographie oder interferometrischen Systemen, ist auf exakte Ausrichtung von Linsen, Spiegeln und Schichten angewiesen.
Die Auszeichnung des IMMS-Systems auf der iENA unterstreicht sein Potenzial, Branchen wie Nanofertigung, Medizintechnik und Spitzenoptik zu revolutionieren. Durch die Erreichung von Subnanometer-Präzision trifft es den wachsenden Bedarf an Maschinen, die Strukturen auf atomarer Ebene bearbeiten können. Die Silbermedaille würdigt den System als Meilenstein der Präzisionstechnik.
